વિશેષ ગેસ પૂંછડી ગેસ ટ્રીટમેન્ટ ગેસનો ઉપયોગ！

પૂંછડી ગેસ ટ્રીટમેન્ટ સાધનો સેમિકન્ડક્ટર, લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ અને સોલર એનર્જી ઉદ્યોગોમાં ઇચિંગ પ્રક્રિયાઓ અને રાસાયણિક બાષ્પ જુબાની પ્રક્રિયાઓમાં ઉપયોગમાં લેવામાં આવતી વાયુઓને નિયંત્રિત કરી શકે છે, જેમાં એસઆઈએચ 4, એસઆઈએચ 2 સીએલ 2, પીએચ 3, બી 2 એચ 6, ટીઇઓએસ, એચ 2, સીઓ, એનએફ 3, એસએફ 6, સી 2 એફ 6, એનએચ 3, એનએચ 3, એનએચ 3, એનએચ 3, એનએચ 3, અને તેથી.

એક્ઝોસ ગેસ સારવાર પદ્ધતિ

એક્ઝોસ્ટ ગેસ ટ્રીટમેન્ટની લાક્ષણિકતાઓ અનુસાર, સારવારને ચાર પ્રકારની સારવારમાં વહેંચી શકાય છે:

1. પાણી ધોવા પ્રકાર (કાટમાળ વાયુઓની સારવાર)

2. ઓક્સિડાઇઝિંગ પ્રકાર (દહનયોગ્ય અને ઝેરી વાયુઓ સાથે વ્યવહાર)

3. શોષણ (અનુરૂપ એક્ઝોસ્ટ ગેસ સાથે વ્યવહાર કરવા માટે or સોર્સપ્શન સામગ્રીના પ્રકાર અનુસાર).

4. પ્લાસ્મા કમ્બશન પ્રકાર (તમામ પ્રકારના એક્ઝોસ્ટ વાયુઓની સારવાર કરી શકાય છે).

દરેક પ્રકારની સારવારના પોતાના ફાયદા અને ગેરફાયદા તેમજ તેના એપ્લિકેશનનો અવકાશ હોય છે. જ્યારે સારવારની પદ્ધતિ પાણી ધોવાની હોય છે, ત્યારે ઉપકરણો સસ્તા અને સરળ હોય છે, અને ફક્ત પાણી-દ્રાવ્ય વાયુઓને હેન્ડલ કરી શકે છે; ઇલેક્ટ્રિક વોટર વ washing શિંગ પ્રકારની એપ્લિકેશન શ્રેણી પાણીના ધોવાના પ્રકાર કરતા વધારે છે, પરંતુ ઓપરેશન ખર્ચ વધારે છે; શુષ્ક પ્રકારમાં સારવારની સારી કાર્યક્ષમતા હોય છે, અને તે ગેસ પ્રવાહને લાગુ પડતી નથી જે ભરાયેલા અથવા વહેવા માટે સરળ છે.

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવામાં આવતા રસાયણો અને તેમના પેટા-ઉત્પાદનોને તેમની રાસાયણિક ગુણધર્મો અને તેમની વિવિધ શ્રેણી અનુસાર વર્ગીકૃત કરી શકાય છે:

1. એસઆઈએચ 4 એચ 2, ઇટીસી જેવા જ્વલનશીલ વાયુઓ.

2. એએસએચ 3, પીએચ 3, વગેરે જેવા ઝેરી વાયુઓ વગેરે

3. એચએફ, એચસીએલ, વગેરે જેવા કાટમાળ વાયુઓ વગેરે.

4. ગ્રીનહાઉસ વાયુઓ જેમ કે સીએફ 4, એનએફ 3, વગેરે.

ઉપરોક્ત ચાર વાયુઓ પર્યાવરણ અથવા માનવ શરીર માટે હાનિકારક હોવાથી, વાતાવરણમાં તેના સીધા ઉત્સર્જનને અટકાવવું આવશ્યક છે, તેથી સામાન્ય સેમિકન્ડક્ટર પ્લાન્ટ વિશાળ કેન્દ્રીયકૃત એક્ઝોસ્ટ ગેસ ટ્રીટમેન્ટ સિસ્ટમથી સ્થાપિત થાય છે, પરંતુ આ સિસ્ટમ ફક્ત પાણીના સ્ક્રબિંગ એક્ઝોસ્ટ છે, તેથી તેની અરજી લાંબા-અંતરના જળ-સોલ્યુબલ વાયુઓ સાથે મર્યાદિત છે, અને તે એક્ઝોસ્ટર ગેસના સદા-ચંગળની પ્રક્રિયા સાથે વ્યવહાર કરી શકતી નથી. તેથી, એક્ઝોસ્ટ ગેસની સમસ્યાને નાની રીતે હલ કરવા માટે, દરેક પ્રક્રિયામાંથી મેળવેલી ગેસ લાક્ષણિકતાઓ અનુસાર અનુરૂપ એક્ઝોસ્ટ ગેસ ટ્રીટમેન્ટ સાધનોની પસંદગી અને મેચ કરવી જરૂરી છે. કારણ કે કાર્યકારી ક્ષેત્ર મોટે ભાગે સેન્ટ્રલ એક્ઝોસ્ટ ગેસ ટ્રીટમેન્ટ સિસ્ટમથી દૂર હોય છે, ઘણીવાર ગેસની લાક્ષણિકતાઓને કારણે પાઇપલાઇનમાં સ્ફટિકીકરણ અથવા ધૂળના સંચય તરફ દોરી જાય છે, પરિણામે ગેસ લિકેજ તરફ દોરી જતા પાઇપલાઇનને ભરાય છે, અને ગંભીર કિસ્સાઓમાં, વિસ્ફોટનું કારણ પણ છે, તે સુનિશ્ચિત કરી શકતું નથી કે સાઇટ સ્ટાફની કાર્ય સલામતી. તેથી, કાર્યક્ષેત્રમાં કાર્યક્ષેત્રમાં સ્થિર એક્ઝોસ્ટ ગેસને ઘટાડવા માટે, કાર્યક્ષેત્રમાં પ્રક્રિયા ગેસની લાક્ષણિકતાઓ માટે યોગ્ય નાના એક્ઝોસ્ટ ગેસ ટ્રીટમેન્ટ સાધનોને ગોઠવવાની જરૂર છે.