સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ગેસ ઉદ્યોગ

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં વાયુઓનો ઉપયોગ 1950 ની શરૂઆતમાં 1960 થી 1960 ના દાયકાની છે. સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન, વાયુઓનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે તેમની શુદ્ધતા અને ગુણવત્તાની ખાતરી કરવા માટે સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રીને સાફ અને સુરક્ષિત કરવા માટે થાય છે. સૌથી સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવામાં આવતી વાયુઓમાં નાઇટ્રોજન અને હાઇડ્રોજન છે.

જેમ જેમ સેમિકન્ડક્ટર ટેકનોલોજી વિકસિત થઈ છે અને ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં સુધારો થયો છે, ત્યારે વાયુઓની માંગમાં વધારો થયો છે. 1970 માં, સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ ટેક્નોલ .જીનો વધુ વિકાસ, પાતળા ફિલ્મોના એચિંગ અને ડિપોઝિશન જેવી કી પ્રક્રિયાઓમાં વાયુઓનો ઉપયોગ ધીરે ધીરે વધ્યો, અને ફ્લોરાઇડ વાયુઓ (દા.ત. એસએફ 6) અને ઓક્સિજન સામાન્ય રીતે ઇચિંગ અને ડિપોઝિશન વાયુઓ બન્યો. 1980 માં એકીકૃત સર્કિટ્સના વિકાસ અને તેમની માંગમાં વધારો સાથે વાયુઓની માંગમાં વધુ વધારો જોવા મળ્યો. હાઇડ્રોજનનો ઉપયોગ ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં કરવામાં આવ્યો હતો, જેમાં હાઇડ્રોજન એનિલિંગ અને હાઇડ્રોજન વરાળ જુબાની શામેલ છે. અને 1990 થી આજ સુધી, ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ અને વિશિષ્ટ વાયુઓની માંગમાં વધારો થયો છે કારણ કે સેમિકન્ડક્ટર ડિવાઇસના કદ ઘટતા જતા રહ્યા છે અને નવી પ્રક્રિયાઓ રજૂ કરવામાં આવી છે. ઉદાહરણ તરીકે, આત્યંતિક અલ્ટ્રાવાયોલેટ લિથોગ્રાફી (ઇયુવી) ના ઉપયોગ માટે નાઇટ્રોજન અને હાઇડ્રોજન જેવા અત્યંત ઉચ્ચ-શુદ્ધિકરણ વાયુઓનો ઉપયોગ જરૂરી છે.

વધુને વધુ ઉત્પાદનો દ્વારા સંચાલિત સંબંધિત ઉત્પાદનોના વિકાસ સાથે સેમિકન્ડક્ટર ગેસ વધતો જાય છે, જ્યારે ગેસ પણ જોખમના સ્ત્રોતનો છે, તેથી ગેસ ડિકોમ્પ્રેશન, ગેસ ડિટેક્શન પ્રોડક્ટ્સ અને ગેસ લિકેજ પ્રોડક્ટ્સ માટે ઉપયોગમાં લેવાતા ઉત્પાદનો, પ્રેશર રેગ્યુલેટર્સ, ગેસ વાલ્વ, ગેસ પ્રેશર ગેજ, ગેસ લિકેજ ડિટેક્ટર, વગેરે જેવા ઉભરી આવ્યા છે.

પ્રેશર રેગ્યુલેટર્સ: પ્રેશર રેગ્યુલેટર્સ એ ગેસના દબાણને નિયંત્રિત કરવા માટે વપરાયેલ ઉપકરણો છે. તેઓ સામાન્ય રીતે રેગ્યુલેટર વાલ્વ અને પ્રેશર સેન્સરનો સમાવેશ કરે છે. પ્રેશર રેગ્યુલેટર ઉચ્ચ દબાણ ગેસ ઇનપુટ લે છે અને વિશિષ્ટ એપ્લિકેશન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરવા માટે વાલ્વને સમાયોજિત કરીને આઉટપુટ ગેસના દબાણને સ્થિર કરે છે. ગેસ સપ્લાયની સ્થિરતા અને સલામતી સુનિશ્ચિત કરવા માટે, ઉદ્યોગ, ઉત્પાદન અને પ્રયોગશાળાઓ જેવા કે અન્ય લોકો વચ્ચે પ્રેશર નિયમનકારોનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.

ગેસ વાલ્વ: ગેસ વાલ્વનો ઉપયોગ વાયુઓના પ્રવાહને નિયંત્રિત કરવા અને ગેસના માર્ગોને બંધ કરવા માટે થાય છે. તેમની પાસે સામાન્ય રીતે on ન/off ફ ફંક્શન હોય છે જે ગેસનો પ્રવાહ ખોલે છે અથવા બંધ કરે છે. મેન્યુઅલ વાલ્વ, ઇલેક્ટ્રિક વાલ્વ અને વાયુયુક્ત વાલ્વ સહિતના વિવિધ પ્રકારના ગેસ વાલ્વ છે. વાયુઓના પ્રવાહ, દબાણ અને પ્રવાહ દરને નિયંત્રિત કરવા માટે તેઓ ગેસ સિસ્ટમોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.

ગેસ પ્રેશર ગેજેસ: ગેસ પ્રેશર ગેજેસનો ઉપયોગ ગેસના દબાણ સ્તરને માપવા માટે થાય છે. દબાણ ફેરફારોનું નિરીક્ષણ કરવા અને તે સલામત મર્યાદામાં છે તેની ખાતરી કરવા માટે તેઓ સામાન્ય રીતે ગેસ સિસ્ટમોના નિર્ણાયક સ્થળોએ સ્થાપિત થાય છે. ઉદ્યોગ, ઉત્પાદન અને પ્રયોગશાળાઓમાં ગેસ પ્રેશર ગેજનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે, અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ પણ સામેલ થયો છે.

ગેસ લીક ​​ડિટેક્ટર: ગેસ લીક ​​ડિટેક્ટર્સનો ઉપયોગ ગેસ સિસ્ટમ્સમાં લિક શોધવા માટે થાય છે. તેઓ શોધી કા .ે છેગેસ લિકની હાજરી અને એલાર્મ અવાજ કરે છે જેથી લિકેજ અકસ્માતોને રોકવા માટે સમયસર કાર્યવાહી કરી શકાય. ગેસ લિક ડિટેક્ટર્સનો ઉપયોગ industrial દ્યોગિક, રાસાયણિક, તેલ અને ગેસ એપ્લિકેશનમાં થાય છે, અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ પણ સામેલ થયો છે.