જેમ જેમ સેમિકન્ડક્ટર માર્કેટ વધે છે, શુદ્ધતા અને ચોકસાઈ માટેના ધોરણો વધુ કડક બને છે. સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગની ગુણવત્તામાં નિર્ધારિત પરિબળોમાંનું એક પ્રક્રિયામાં ઉપયોગમાં લેવામાં આવતી વાયુઓ છે. આ વાયુઓ ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ઘણી ભૂમિકાઓ ભજવે છે, જેમાં શામેલ છે:
ચોકસાઈ પ્રક્રિયા નિયંત્રણ
દૂષણ
ધાતુ -સંપત્તિ વૃદ્ધિ
આ ભૂમિકાઓને અસરકારક રીતે કરવા માટે, ગેસ સપ્લાય અને વિતરણ પ્રણાલી કાર્યક્ષમ હોવી આવશ્યક છે. સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ઉપયોગમાં લેવામાં આવતી ગેસ હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સની ડિઝાઇનને સેમિકન્ડક્ટર્સના વિશ્વસનીય અને ઉચ્ચ ગુણવત્તાવાળા ઉત્પાદનની ખાતરી કરવા માટે મજબૂત ઘટકો અને કસ્ટમાઇઝ્ડ એસેમ્બલીઓ દ્વારા સપોર્ટેડ હોવી આવશ્યક છે.
સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ઉપયોગમાં લેવાતા વાયુઓ
સેમિકન્ડક્ટર્સના ઉત્પાદનની પ્રક્રિયામાં પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કે વિવિધ વાયુઓનો ઉપયોગ કરવો જરૂરી છે.
જ્યારે નાઇટ્રોજન, હાઇડ્રોજન, આર્ગોન અને હિલીયમ જેવા સામાન્ય વાયુઓનો ઉપયોગ તેમના શુદ્ધ સ્વરૂપમાં થઈ શકે છે, ત્યારે અમુક પ્રક્રિયાઓને વિશિષ્ટ મિશ્રણની જરૂર પડી શકે છે. સિલેન્સ અથવા સિલોક્સેન્સ, હેક્સાફ્લોરાઇડ્સ, હાયલાઇડ્સ અને હાઇડ્રોકાર્બન એ સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ઉપયોગમાં લેવામાં આવતી વિશેષતાવાળા કેટલાક વાયુઓ છે. આમાંની ઘણી વાયુઓ જોખમી અથવા ખૂબ પ્રતિક્રિયાશીલ હોઈ શકે છે, ગેસ સિસ્ટમ્સ માટેના ઘટકોની પસંદગી અને ડિઝાઇનમાં પડકારો બનાવે છે.
અહીં કેટલાક ઉદાહરણો છે:
\ હાઇડ્રોજન અને હિલીયમ તેમના નાના અણુ કદ અને વજનને કારણે પાઇપિંગ અને ફિટિંગ સિસ્ટમ્સમાંથી સરળતાથી લિક કરી શકે છે.
\ સિલેન્સ ખૂબ જ જ્વલનશીલ હોય છે અને હવામાં સ્વયંભૂ કમ્બસ્ટ (auto ટોઇનાઇટ) કરી શકે છે.
Niti પર્યાવરણમાં લીક થાય ત્યારે જુબાની, ઇચિંગ અને ચેમ્બર સફાઈના તબક્કામાં ઉપયોગમાં લેવામાં આવતા નાઇટ્રોજન ડિફ્લુરાઇડનો ઉપયોગ એક શક્તિશાળી ગ્રીનહાઉસ ગેસ બની જાય છે.
\ હાઇડ્રોજન ફ્લોરાઇડ (એચિંગ ગેસ) મેટલ પાઇપિંગ માટે ખૂબ જ કાટમાળ છે.
\ ટ્રાઇમેથિલેગેલિયમ અને એમોનિયાને હેન્ડલ કરવું મુશ્કેલ હોઈ શકે છે - તેમના તાપમાન અને દબાણ આવશ્યકતાઓમાં નાના વધઘટ જુબાની પ્રક્રિયાને અસર કરી શકે છે.
આ વાયુઓના નકારાત્મક પ્રભાવોને ઘટાડવા માટે પ્રક્રિયાની સ્થિતિને નિયંત્રિત કરવી એ સિસ્ટમ ડિઝાઇન દરમિયાન ટોચની અગ્રતા હોવી આવશ્યક છે. બિલ્ડ પ્રક્રિયા દરમિયાન એએફકે ડાયાફ્રેમ વાલ્વ જેવા ઉચ્ચતમ ગુણવત્તાવાળા ઘટકોનો ઉપયોગ કરવો એટલો જ મહત્વપૂર્ણ છે.
સિસ્ટમ ડિઝાઇન પડકારોને સંબોધવા
સેમિકન્ડક્ટર ગ્રેડ વાયુઓ ઉચ્ચ શુદ્ધતાના મોટાભાગના કિસ્સાઓમાં હોય છે અને નિષ્ક્રિય પરિસ્થિતિઓ પ્રદાન કરે છે અથવા ઉત્પાદન પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કે પ્રતિક્રિયાઓ વધારતા હોય છે, જેમ કે ઇચ અને જુબાની વાયુઓ. આવા વાયુઓના લિકેજ અથવા દૂષણની નકારાત્મક અસરો થઈ શકે છે. તેથી, તે હર્મેટિકલી સીલ અને કાટ પ્રતિરોધક તરીકે ઉપયોગમાં લેવામાં આવતા સિસ્ટમના ઘટકો માટે મહત્વપૂર્ણ છે અને સાથે સાથે સરળ સપાટી પૂર્ણાહુતિ (ઇલેક્ટ્રોલાઇટિક પોલિશિંગ) છે તેની ખાતરી કરવા માટે કે દૂષણની કોઈ સંભાવના નથી અને સ્વચ્છતાના અત્યંત ઉચ્ચ સ્તરને જાળવી શકાય છે.
આ ઉપરાંત, ઇચ્છિત પ્રક્રિયાની સ્થિતિ પ્રાપ્ત કરવા માટે આમાંથી કેટલીક વાયુઓ ગરમ અથવા ઠંડુ કરી શકાય છે. સારી રીતે ઇન્સ્યુલેટેડ ઘટકો તાપમાન નિયંત્રણની ખાતરી કરે છે, જે અંતિમ ઉત્પાદનના કાર્યક્ષમ પ્રભાવ માટે મહત્વપૂર્ણ છે.
સ્રોત ઇનલેટથી ઉપયોગના બિંદુ સુધી, એએફકેના વિશાળ શ્રેણી અલ્ટ્રા-ઉચ્ચ શુદ્ધતા, તાપમાન, દબાણ અને સેમિકન્ડક્ટર ક્લીનરૂમ્સ અને વેક્યુમ ચેમ્બરમાં જરૂરી પ્રવાહ નિયંત્રણને સમર્થન આપે છે.
સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્સમાં ગુણવત્તાવાળા ઘટકો સાથે ડિઝાઇન કરેલી સિસ્ટમો
ગુણવત્તાવાળા ઘટકો અને ડિઝાઇન optim પ્ટિમાઇઝેશનની ભૂમિકા સેમિકન્ડક્ટર્સના ચોક્કસ નિયંત્રણ અને સલામત ઉત્પાદન માટે મહત્વપૂર્ણ છે. મેન્યુફેક્ચરિંગના જુદા જુદા તબક્કે જરૂરી પ્રક્રિયાની પરિસ્થિતિઓને મેચ કરવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતા ઘટકો મજબૂત અને લીક-મુક્ત હોવું જરૂરી છે. એએફકેના ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા વાલ્વ, ફિટિંગ્સ, નિયમનકારો, પાઇપિંગ અને સીલિંગ કૌંસ નીચેની સુવિધાઓ દ્વારા વર્ગીકૃત થયેલ છે:
અતિ ઉચ્ચ શુદ્ધતા
લીક-મુક્ત સીલ
તાપમાન નિયંત્રિત ઇન્સ્યુલેશન
દબાણ નિયંત્રણ
કાટ પ્રતિકાર
વિદ્યુત -પોલિશિંગ સારવાર
પોસ્ટ સમય: Oct ક્ટો -09-2023