સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓ માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમ્સ માટે તકનીકી ઉકેલો

હાઇ-પ્યુરિટી ગેસ પાઇપિંગ ટેકનોલોજી એ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમનો એક મહત્વપૂર્ણ ભાગ છે, જે જરૂરી ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસને ઉપયોગના તબક્કે પહોંચાડવા અને હજી પણ લાયક ગુણવત્તા જાળવવા માટેની મુખ્ય તકનીક છે; હાઇ-પ્યુરિટી ગેસ પાઇપિંગ ટેક્નોલજીમાં સિસ્ટમની યોગ્ય ડિઝાઇન, ફિટિંગ્સ અને એસેસરીઝની પસંદગી, બાંધકામ અને ઇન્સ્ટોલેશન અને પરીક્ષણ શામેલ છે. તાજેતરનાં વર્ષોમાં, મોટા પાયે એકીકૃત સર્કિટ્સ દ્વારા રજૂ કરાયેલા માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉત્પાદનોના ઉત્પાદનમાં ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓની શુદ્ધતા અને અશુદ્ધતા સામગ્રી પર વધુને વધુ કડક આવશ્યકતાઓ, ઉચ્ચ-શુદ્ધિકરણ વાયુઓની પાઇપિંગ તકનીકને વધુને વધુ સંબંધિત અને ભાર મૂકે છે. નીચે આપેલ સામગ્રીની પસંદગીમાંથી ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપિંગની સંક્ષિપ્ત ઝાંખી છેof બાંધકામ, તેમજ સ્વીકૃતિ અને દૈનિક સંચાલન.

સામાન્ય વાયુઓના પ્રકાર

ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગમાં સામાન્ય વાયુઓનું વર્ગીકરણમાનું

સામાન્ય વાયુઓ.મોટા પ્રમાણમાં ગેસ）: હાઇડ્રોજન (એચ₂₎, નાઇટ્રોજન (એન₂), ઓક્સિજન (ઓ₂), આર્ગોન (એ₂), વગેરે

ખાસ વાયુઓસિહ છે₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,એચ.સી.એલ.,CF₄ ,NH_3,પી.સી.એલ._3, સીએચ 2 સીએલ₂ સી.એચ.સી.એલ.,NH_3,  બી.સી.એલ._{3 ,}સિક₄ ,કળ₃ ,સહ,C₂F_6, N2O,F_2,Hf,એચબીઆર એસ.એફ.₆…… વગેરે

ખાસ વાયુઓના પ્રકારોને સામાન્ય રીતે કાટમાળ તરીકે વર્ગીકૃત કરી શકાય છેતડાકો, ઝેરીતડાકો, જ્વલનશીલતડાકો, દહન કરી શકાય તેવુંતડાકો, નિષ્ક્રિયતડાકો, વગેરે. સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા સેમિકન્ડક્ટર વાયુઓ સામાન્ય રીતે નીચે મુજબ વર્ગીકૃત કરવામાં આવે છે.

(i) કાટમાળ / ઝેરીતડાકો: એચસીએલ, બીએફ₃, ડબલ્યુએફ₆, એચબીઆર, સીઆઈએચ₂Cl₂, એન.એચ.₃, પી.એચ.₃, ક્લ₂, બીસીએલ₃… વગેરે.

(ii) જ્વલનશીલતાતડાકો: એચ₂, સીએચ₄, સિહ₄, પી.એચ.₃, એએસએચ 3, સીઆઈએચ₂Cl₂, બી₂H₆, સીએચ 2 એફ_2,શણગાર₃એફ, સીઓ… વગેરે.

(iii) દહનતાતડાકો: ઓ₂, ક્લ₂, એન₂ઓ, એન.એફ.₃… વગેરે

(iv) નિષ્ક્રિયતડાકો: એન₂, સી.એફ.₄, સી₂F₆, સી₄F_8,એસ.એફ.₆, સહ₂, ને, કેઆર, તે… વગેરે.

ઘણા સેમિકન્ડક્ટર વાયુઓ માનવ શરીર માટે હાનિકારક છે. ખાસ કરીને, આમાંના કેટલાક વાયુઓ, જેમ કે સી.આઇ.એચ.₄ સ્વયંભૂ દહન, જ્યાં સુધી લિક હવામાં ઓક્સિજન સાથે હિંસક પ્રતિક્રિયા આપશે અને બર્ન કરવાનું શરૂ કરશે; અને રાખ₃ખૂબ ઝેરી, કોઈપણ સહેજ લિકેજ માનવ જીવનનું જોખમ લાવી શકે છે, તે આ સ્પષ્ટ જોખમોને કારણે છે, તેથી સિસ્ટમ ડિઝાઇનની સલામતી માટેની આવશ્યકતાઓ ખાસ કરીને વધારે છે.

વાયુઓનો ઉપયોગ અવકાશ  

આધુનિક ઉદ્યોગના મહત્વપૂર્ણ મૂળભૂત કાચા માલ તરીકે, ગેસ ઉત્પાદનોનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે, અને મોટી સંખ્યામાં સામાન્ય વાયુઓ અથવા વિશેષ વાયુઓનો ઉપયોગ ધાતુશાસ્ત્ર, સ્ટીલ, પેટ્રોલિયમ, રાસાયણિક ઉદ્યોગ, મશીનરી, ઇલેક્ટ્રોનિક્સ, ગ્લાસ, સિરામિક્સ, મકાન સામગ્રી, બાંધકામ, ખાદ્ય પ્રક્રિયા, દવા અને તબીબી ક્ષેત્રોમાં થાય છે. ખાસ કરીને આ ક્ષેત્રોની ઉચ્ચ તકનીકી પર ગેસની અરજીની મહત્વપૂર્ણ અસર પડે છે, અને તે તેનો અનિવાર્ય કાચો માલ ગેસ અથવા પ્રક્રિયા ગેસ છે. ફક્ત વિવિધ નવા industrial દ્યોગિક ક્ષેત્રો અને આધુનિક વિજ્ and ાન અને તકનીકીની જરૂરિયાતો અને પ્રમોશન સાથે, ગેસ ઉદ્યોગના ઉત્પાદનો વિવિધ, ગુણવત્તા અને જથ્થાની દ્રષ્ટિએ કૂદકો અને સીમાઓ દ્વારા વિકસિત કરી શકાય છે.

માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ગેસ એપ્લિકેશન

ગેસનો ઉપયોગ હંમેશાં સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવતો હોય છે, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા વિવિધ ઉદ્યોગોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે, પરંપરાગત યુએલએસઆઈ, ટીએફટી-એલસીડીથી લઈને વર્તમાન માઇક્રો-ઇલેક્ટ્રો-મિકેનિકલ (એમઇએમએસ) ઉદ્યોગ સુધી, આ બધા ઉત્પાદનોની ઉત્પાદક પ્રક્રિયા તરીકે કહેવાતી સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાનો ઉપયોગ કરે છે. ગેસની શુદ્ધતા ઘટકો અને ઉત્પાદન ઉપજની કામગીરી પર નિર્ણાયક અસર કરે છે, અને ગેસ સપ્લાયની સલામતી કર્મચારીઓના સ્વાસ્થ્ય અને છોડની કામગીરીની સલામતી સાથે સંબંધિત છે.

ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ પરિવહનમાં ઉચ્ચ શુદ્ધિકરણ પાઇપિંગનું મહત્વ

સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલ ગલન અને સામગ્રી બનાવવાની પ્રક્રિયામાં, લગભગ 200 ગ્રામ ગેસ ટન દીઠ શોષી શકાય છે. સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલની પ્રક્રિયા પછી, ફક્ત તેની સપાટી વિવિધ દૂષણોથી સ્ટીકી જ નહીં, પણ તેની ધાતુની જાળીમાં પણ ચોક્કસ માત્રામાં ગેસ શોષી લે છે. જ્યારે પાઇપલાઇન દ્વારા એરફ્લો હોય છે, ત્યારે ધાતુ ગેસના આ ભાગને શોષી લે છે, શુદ્ધ ગેસને પ્રદૂષિત કરીને, એરફ્લોમાં ફરીથી પ્રવેશ કરશે. જ્યારે ટ્યુબમાં એરફ્લો અસંગત પ્રવાહ હોય છે, ત્યારે ટ્યુબ દબાણ હેઠળ ગેસને શોષી લે છે, અને જ્યારે એરફ્લો પસાર થવાનું બંધ કરે છે, ત્યારે ટ્યુબ દ્વારા શોષાયેલા ગેસનું નિરાકરણ લાવવા માટે દબાણ ડ્રોપ બનાવે છે, અને ઉકેલાયેલ ગેસ પણ ટ્યુબમાં શુદ્ધ ગેસમાં અશુદ્ધિઓ તરીકે પ્રવેશે છે. તે જ સમયે, or સોર્સપ્શન અને રીઝોલ્યુશનનું પુનરાવર્તન કરવામાં આવે છે, જેથી ટ્યુબની આંતરિક સપાટી પરની ધાતુ પણ પાવડરનો ચોક્કસ જથ્થો ઉત્પન્ન કરે છે, અને આ ધાતુના ધૂળના કણો પણ ટ્યુબની અંદર શુદ્ધ ગેસને પ્રદૂષિત કરે છે. ટ્યુબની આ લાક્ષણિકતા પરિવહન ગેસની શુદ્ધતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે જરૂરી છે, જેને ટ્યુબની આંતરિક સપાટીની માત્ર ખૂબ જ સરળતા જ નહીં, પણ ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકારની પણ જરૂર છે.

જ્યારે મજબૂત કાટમાળ પ્રદર્શનવાળા ગેસનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, ત્યારે પાઇપિંગ માટે કાટ-પ્રતિરોધક સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલ પાઈપોનો ઉપયોગ કરવો આવશ્યક છે. નહિંતર, પાઇપ કાટને કારણે આંતરિક સપાટી પર કાટ ફોલ્લીઓ ઉત્પન્ન કરશે, અને ગંભીર કિસ્સાઓમાં, ત્યાં ધાતુની છીનવી અથવા તો છિદ્રનો મોટો વિસ્તાર હશે, જે શુદ્ધ ગેસને વિતરિત કરવા માટે દૂષિત કરશે.

ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ-સફાઈ ગેસ ટ્રાન્સમિશન અને મોટા પ્રવાહ દરની વિતરણ પાઇપલાઇન્સનું જોડાણ.

સૈદ્ધાંતિક રીતે, તે બધા વેલ્ડેડ છે, અને જ્યારે વેલ્ડીંગ લાગુ કરવામાં આવે છે ત્યારે ઉપયોગમાં લેવામાં આવતી ટ્યુબમાં સંસ્થામાં કોઈ ફેરફાર કરવો જરૂરી છે. ખૂબ high ંચી કાર્બન સામગ્રીવાળી સામગ્રી વેલ્ડીંગ કરતી વખતે વેલ્ડેડ ભાગોની હવા અભેદ્યતાને આધિન હોય છે, જે પાઇપની અંદર અને બહારના વાયુઓના પરસ્પર પ્રવેશને બનાવે છે અને પ્રસારિત ગેસની શુદ્ધતા, શુષ્કતા અને સ્વચ્છતાનો નાશ કરે છે, પરિણામે આપણા બધા પ્રયત્નો ખોવાઈ જાય છે.

સારાંશમાં, ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ અને વિશેષ ગેસ ટ્રાન્સમિશન પાઇપલાઇન માટે, ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ વિતરણમાં ઉચ્ચ શુદ્ધતા પાઇપલાઇન સિસ્ટમ (પાઈપો, ફિટિંગ્સ, વાલ્વ, વીએમબી, વીએમપી સહિત) બનાવવા માટે, ઉચ્ચ-શુદ્ધ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપની વિશેષ સારવારનો ઉપયોગ કરવો જરૂરી છે.

ટ્રાન્સમિશન અને વિતરણ પાઇપલાઇન્સ માટે સ્વચ્છ તકનીકની સામાન્ય વિભાવના

પાઇપિંગ સાથે ખૂબ શુદ્ધ અને સ્વચ્છ ગેસ બોડી ટ્રાન્સમિશનનો અર્થ એ છે કે ગેસના ત્રણ પાસાંઓ પરિવહન કરવા માટે કેટલીક આવશ્યકતાઓ અથવા નિયંત્રણો છે.

ગેસ શુદ્ધતા: જી.જી.એ.એસ. શુદ્ધતામાં અશુદ્ધતા વાતાવરણની સામગ્રી: ગેસમાં અશુદ્ધતા વાતાવરણની સામગ્રી, સામાન્ય રીતે ગેસ શુદ્ધતાના ટકાવારી તરીકે વ્યક્ત કરવામાં આવે છે, જેમ કે 99.9999%, પણ અશુદ્ધતા વાતાવરણની સામગ્રી પીપીએમ, પીપીબી, પીપીટીના વોલ્યુમ રેશિયો તરીકે વ્યક્ત થાય છે.

શુષ્કતા: ગેસમાં ટ્રેસ ભેજનું પ્રમાણ, અથવા ભીનાશ તરીકે ઓળખાતી માત્રા, સામાન્ય રીતે ઝાકળ બિંદુની દ્રષ્ટિએ વ્યક્ત કરવામાં આવે છે, જેમ કે વાતાવરણીય દબાણ ઝાકળ બિંદુ -70. આર.ડી.

સ્વચ્છતા: ગેસમાં સમાયેલ દૂષિત કણોની સંખ્યા, µm ના કણો કદ, કેટલા કણો/એમ 3 વ્યક્ત કરવા માટે, સંકુચિત હવા માટે, સામાન્ય રીતે તે પણ બિનઆયોજિત નક્કર અવશેષોના કેટલા મિલિગ્રામ/એમ 3 ની દ્રષ્ટિએ વ્યક્ત થાય છે, જે તેલની સામગ્રીને આવરી લે છે.

પ્રદૂષક કદના વર્ગીકરણ: પ્રદૂષક કણો, મુખ્યત્વે પાઇપલાઇન સ્કોરિંગ, વસ્ત્રો, ધાતુના કણો દ્વારા ઉત્પન્ન થયેલ કાટ, વાતાવરણીય સૂટ કણો, તેમજ સુક્ષ્મસજીવો, તબક્કાઓ અને ભેજવાળા ગેસ કન્ડેન્સેશન ટીપાં, વગેરેનો સંદર્ભ આપે છે, તેના કણોના કદના કદ અનુસાર,

એ) મોટા કણો - 5μm ની ઉપરના કણોનું કદ

બી) કણો-0.1μm-5μm વચ્ચે સામગ્રીનો વ્યાસ

સી) અલ્ટ્રા-માઇક્રો કણો-કણોનું કદ 0.1μm કરતા ઓછું.

આ તકનીકીની એપ્લિકેશનને વધારવા માટે, કણોના કદ અને μM એકમોની સમજણ મેળવવા માટે, ચોક્કસ કણોની સ્થિતિનો સમૂહ સંદર્ભ માટે પ્રદાન કરવામાં આવે છે

નીચેના ચોક્કસ કણોની તુલના છે