સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓ માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમ્સ માટે ટેકનોલોજી સોલ્યુશન્સ

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઈપિંગ ટેકનોલોજી એ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પુરવઠા પ્રણાલીનો એક મહત્વપૂર્ણ ભાગ છે, જે જરૂરી ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસને ઉપયોગના સ્થળે પહોંચાડવા અને હજુ પણ યોગ્ય ગુણવત્તા જાળવી રાખવા માટેની મુખ્ય તકનીક છે;ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપિંગ તકનીકમાં સિસ્ટમની યોગ્ય ડિઝાઇન, ફિટિંગ અને એસેસરીઝની પસંદગી, બાંધકામ અને ઇન્સ્ટોલેશન અને પરીક્ષણનો સમાવેશ થાય છે.તાજેતરના વર્ષોમાં, મોટા પાયે ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ દ્વારા રજૂ કરવામાં આવતા માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉત્પાદનોના ઉત્પાદનમાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા વાયુઓની શુદ્ધતા અને અશુદ્ધતા સામગ્રી પર વધુને વધુ કડક આવશ્યકતાઓએ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસની પાઇપિંગ તકનીકને વધુને વધુ ચિંતિત અને ભારપૂર્વક બનાવ્યું છે.સામગ્રીની પસંદગીમાંથી ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઈપિંગની સંક્ષિપ્ત ઝાંખી નીચે મુજબ છેof બાંધકામ, તેમજ સ્વીકૃતિ અને દૈનિક સંચાલન.

સામાન્ય વાયુઓના પ્રકાર

ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગમાં સામાન્ય વાયુઓનું વર્ગીકરણ:

સામાન્ય વાયુઓ(બલ્ક ગેસ): હાઇડ્રોજન (એચ₂₎, નાઇટ્રોજન (એન₂), ઓક્સિજન (ઓ₂), આર્ગોન (એ₂), વગેરે.

વિશેષતા વાયુઓSiH છે₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,એચસીએલ,CF₄ ,NH_3,પીઓસીએલ_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  બીસીએલ_{3 ,}SIF₄ ,સીએલએફ₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,એચએફ,HBR SF₆…… વગેરે

વિશિષ્ટ વાયુઓના પ્રકારોને સામાન્ય રીતે ક્ષતિગ્રસ્ત તરીકે વર્ગીકૃત કરી શકાય છેગેસ, ઝેરીગેસ, જ્વલનશીલગેસ, જ્વલનશીલગેસ, નિષ્ક્રિયગેસ, વગેરે. સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા સેમિકન્ડક્ટર વાયુઓને સામાન્ય રીતે નીચે પ્રમાણે વર્ગીકૃત કરવામાં આવે છે.

(i) ક્ષતિગ્રસ્ત / ઝેરીગેસ: HCl, BF₃, ડબલ્યુએફ₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, બીસીએલ₃…વગેરે

(ii) જ્વલનશીલતાગેસ: એચ₂, સી.એચ₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, બી₂H₆, CH2F_2,સીએચ₃F, CO... વગેરે.

(iii) દહનક્ષમતાગેસ: ઓ₂, Cl₂, એન₂O, NF₃… વગેરે

(iv) જડગેસ: એન₂, સી.એફ₄, સી₂F₆, સી₄F_8,એસએફ₆, CO₂, Ne, Kr, He...વગેરે.

ઘણા સેમિકન્ડક્ટર વાયુઓ માનવ શરીર માટે હાનિકારક છે.ખાસ કરીને, આમાંના કેટલાક વાયુઓ, જેમ કે SiH₄ સ્વયંસ્ફુરિત કમ્બશન, જ્યાં સુધી લીક હવામાં ઓક્સિજન સાથે હિંસક પ્રતિક્રિયા કરશે અને બર્ન કરવાનું શરૂ કરશે;અને એએસએચ₃અત્યંત ઝેરી, કોઈપણ સહેજ લિકેજ માનવ જીવનના જોખમનું કારણ બની શકે છે, તે આ સ્પષ્ટ જોખમોને કારણે છે, તેથી સિસ્ટમ ડિઝાઇનની સલામતી માટેની આવશ્યકતાઓ ખાસ કરીને ઊંચી છે.

વાયુઓના એપ્લિકેશનનો અવકાશ  

આધુનિક ઉદ્યોગના મહત્વના પાયાના કાચા માલ તરીકે, ગેસ ઉત્પાદનોનો વ્યાપક ઉપયોગ થાય છે, અને ધાતુશાસ્ત્ર, સ્ટીલ, પેટ્રોલિયમ, રાસાયણિક ઉદ્યોગ, મશીનરી, ઈલેક્ટ્રોનિક્સ, કાચ, સિરામિક્સ, મકાન સામગ્રી, બાંધકામમાં મોટી સંખ્યામાં સામાન્ય વાયુઓ અથવા વિશેષ વાયુઓનો ઉપયોગ થાય છે. , ફૂડ પ્રોસેસિંગ, દવા અને તબીબી ક્ષેત્રો.ખાસ કરીને આ ક્ષેત્રોની ઉચ્ચ ટેકનોલોજી પર ગેસનો ઉપયોગ મહત્વની અસર કરે છે અને તે તેનો અનિવાર્ય કાચો માલ ગેસ અથવા પ્રોસેસ ગેસ છે.વિવિધ નવા ઔદ્યોગિક ક્ષેત્રો અને આધુનિક વિજ્ઞાન અને ટેક્નોલોજીની જરૂરિયાતો અને પ્રોત્સાહન સાથે જ, ગેસ ઉદ્યોગના ઉત્પાદનો વિવિધતા, ગુણવત્તા અને જથ્થાના સંદર્ભમાં કૂદકે ને ભૂસકે વિકસિત થઈ શકે છે.

માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ગેસ એપ્લિકેશન

સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયામાં ગેસનો ઉપયોગ હંમેશા મહત્વની ભૂમિકા ભજવે છે, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાનો વિવિધ ઉદ્યોગોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે, પરંપરાગત ULSI, TFT-LCD થી લઈને વર્તમાન માઇક્રો-ઇલેક્ટ્રો-મિકેનિકલ (MEMS) ઉદ્યોગમાં, તમામ જે ઉત્પાદનોની ઉત્પાદન પ્રક્રિયા તરીકે કહેવાતી સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાનો ઉપયોગ કરે છે.ગેસની શુદ્ધતા ઘટકોની કામગીરી અને ઉત્પાદનની ઉપજ પર નિર્ણાયક અસર કરે છે, અને ગેસ પુરવઠાની સલામતી કર્મચારીઓના સ્વાસ્થ્ય અને પ્લાન્ટની કામગીરીની સલામતી સાથે સંબંધિત છે.

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પરિવહનમાં ઉચ્ચ શુદ્ધતા પાઇપિંગનું મહત્વ

સ્ટેનલેસ સ્ટીલ ગલન અને સામગ્રી બનાવવાની પ્રક્રિયામાં, લગભગ 200 ગ્રામ ગેસ પ્રતિ ટન શોષી શકાય છે.સ્ટેનલેસ સ્ટીલની પ્રક્રિયા પછી, તેની સપાટી વિવિધ દૂષકોથી ચીકણી જ નહીં, પણ તેની ધાતુની જાળીમાં પણ ચોક્કસ માત્રામાં ગેસ શોષાય છે.જ્યારે પાઈપલાઈન દ્વારા એરફ્લો થાય છે, ત્યારે ધાતુ ગેસના આ ભાગને શોષી લે છે તે હવાના પ્રવાહમાં ફરીથી પ્રવેશ કરશે, શુદ્ધ ગેસને પ્રદૂષિત કરશે.જ્યારે ટ્યુબમાં હવાનો પ્રવાહ અવ્યવસ્થિત પ્રવાહ હોય છે, ત્યારે ટ્યુબ દબાણ હેઠળ ગેસને શોષી લે છે, અને જ્યારે હવાનો પ્રવાહ પસાર થતો અટકે છે, ત્યારે ટ્યુબ દ્વારા શોષાયેલ ગેસ ઉકેલવા માટે દબાણ ડ્રોપ બનાવે છે, અને ઉકેલાયેલ ગેસ પણ ટ્યુબમાં શુદ્ધ ગેસમાં પ્રવેશ કરે છે. અશુદ્ધિઓ તરીકે.તે જ સમયે, શોષણ અને રીઝોલ્યુશન પુનરાવર્તિત થાય છે, જેથી ટ્યુબની આંતરિક સપાટી પરની ધાતુ પણ ચોક્કસ માત્રામાં પાવડર ઉત્પન્ન કરે છે, અને આ ધાતુની ધૂળના કણો ટ્યુબની અંદરના શુદ્ધ ગેસને પણ પ્રદૂષિત કરે છે.ટ્રાન્સપોર્ટેડ ગેસની શુદ્ધતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ટ્યુબની આ લાક્ષણિકતા જરૂરી છે, જેના માટે માત્ર ટ્યુબની આંતરિક સપાટીની ખૂબ જ ઊંચી સરળતા જ નહીં, પરંતુ ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર પણ જરૂરી છે.

જ્યારે મજબૂત કાટરોધક કાર્યક્ષમતા ધરાવતા ગેસનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, ત્યારે કાટ-પ્રતિરોધક સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપોનો ઉપયોગ પાઈપિંગ માટે થવો જોઈએ.નહિંતર, પાઇપ કાટને કારણે આંતરિક સપાટી પર કાટના ફોલ્લીઓ ઉત્પન્ન કરશે, અને ગંભીર કિસ્સાઓમાં, મેટલ સ્ટ્રિપિંગ અથવા તો છિદ્રનો મોટો વિસ્તાર હશે, જે વિતરિત કરવામાં આવનાર શુદ્ધ ગેસને દૂષિત કરશે.

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ-સ્વચ્છતા ગેસ ટ્રાન્સમિશન અને મોટા પ્રવાહ દરોની વિતરણ પાઇપલાઇન્સનું જોડાણ.

સૈદ્ધાંતિક રીતે, તે બધાને વેલ્ડિંગ કરવામાં આવે છે, અને જ્યારે વેલ્ડીંગ લાગુ કરવામાં આવે ત્યારે ઉપયોગમાં લેવાતી ટ્યુબના સંગઠનમાં કોઈ ફેરફાર ન કરવો જરૂરી છે.કાર્બનનું પ્રમાણ ખૂબ વધારે હોય તેવી સામગ્રી વેલ્ડીંગ કરતી વખતે વેલ્ડેડ ભાગોની હવાની અભેદ્યતાને આધીન હોય છે, જે પાઈપની અંદર અને બહાર વાયુઓનો પરસ્પર પ્રવેશ કરે છે અને પ્રસારિત ગેસની શુદ્ધતા, શુષ્કતા અને સ્વચ્છતાને નષ્ટ કરે છે, પરિણામે ગેસનું નુકસાન થાય છે. અમારા બધા પ્રયત્નો.

સારાંશમાં, ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગેસ અને વિશેષ ગેસ ટ્રાન્સમિશન પાઇપલાઇન માટે, ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળી પાઇપલાઇન સિસ્ટમ (પાઈપો, ફીટીંગ્સ, વાલ્વ, VMB, VMP સહિત) બનાવવા માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપની વિશેષ સારવારનો ઉપયોગ કરવો જરૂરી છે. ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ વિતરણ એક મહત્વપૂર્ણ મિશન ધરાવે છે.

ટ્રાન્સમિશન અને ડિસ્ટ્રિબ્યુશન પાઈપલાઈન માટે સ્વચ્છ ટેકનોલોજીનો સામાન્ય ખ્યાલ

પાઇપિંગ સાથે અત્યંત શુદ્ધ અને સ્વચ્છ ગેસ બોડી ટ્રાન્સમિશનનો અર્થ એ છે કે ગેસના પરિવહન માટેના ત્રણ પાસાઓ માટે ચોક્કસ જરૂરિયાતો અથવા નિયંત્રણો છે.

ગેસ શુદ્ધતા: gGas શુદ્ધતામાં અશુદ્ધ વાતાવરણની સામગ્રી: ગેસમાં અશુદ્ધ વાતાવરણની સામગ્રી, સામાન્ય રીતે ગેસ શુદ્ધતાની ટકાવારી તરીકે દર્શાવવામાં આવે છે, જેમ કે 99.9999%, અશુદ્ધ વાતાવરણ સામગ્રીના વોલ્યુમ રેશિયો તરીકે પણ વ્યક્ત કરવામાં આવે છે ppm, ppb, ppt

શુષ્કતા: ગેસમાં ટ્રેસ ભેજનું પ્રમાણ, અથવા ભીનાશ તરીકે ઓળખાતી રકમ, સામાન્ય રીતે ઝાકળ બિંદુની દ્રષ્ટિએ વ્યક્ત થાય છે, જેમ કે વાતાવરણીય દબાણ ઝાકળ બિંદુ -70.સી.

સ્વચ્છતા: ગેસમાં રહેલા દૂષિત કણોની સંખ્યા, કણોનું કદ µm, કેટલા કણો/M3 વ્યક્ત કરવા, સંકુચિત હવા માટે, સામાન્ય રીતે અનિવાર્ય નક્કર અવશેષોના કેટલા mg/m3ના સંદર્ભમાં પણ વ્યક્ત કરવામાં આવે છે, જે તેલની સામગ્રીને આવરી લે છે. .

પ્રદૂષક કદનું વર્ગીકરણ: પ્રદૂષક કણો, મુખ્યત્વે પાઈપલાઈન સ્કોરિંગ, વસ્ત્રો, ધાતુના કણો, વાતાવરણીય સૂટ કણો, તેમજ સૂક્ષ્મજીવો, ફેજીસ અને ભેજ ધરાવતા ગેસ કન્ડેન્સેશન ટીપું વગેરે દ્વારા પેદા થતા કાટનો સંદર્ભ આપે છે, તેના કણોના કદના કદ અનુસાર. માં વિભાજિત કરવામાં આવે છે

a) મોટા કણો - કણોનું કદ 5μm ઉપર

b) કણ - 0.1μm-5μm વચ્ચેનો સામગ્રીનો વ્યાસ

c) અલ્ટ્રા-માઇક્રો કણો - કણોનું કદ 0.1μm કરતાં ઓછું છે.

આ ટેક્નોલૉજીના ઉપયોગને વધારવા માટે, કણોના કદ અને μm એકમોને સમજવામાં સક્ષમ થવા માટે, ચોક્કસ કણોની સ્થિતિનો સમૂહ સંદર્ભ માટે પ્રદાન કરવામાં આવે છે.

નીચેના ચોક્કસ કણોની સરખામણી છે